（交付现场）
（控温模块设置）
（分模块专项培训）
南京理工大学高低温真空探针台安装交付
产品核心指标：
实测真空度：<1pa（达0.17pa@机械泵)；
控温范围：-140℃~600℃；
控温精度：±1℃；
温度均匀性：±3℃；
探针位移定位精度2um，分辨率3um，单轴直线度±2um；
漏电精度：100fA；
样品台：4英寸紫铜材质样品台，平面度5um；
真空腔体：直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室；
CCD采用USB连接电脑，分辨率2um，2000万像素，可拍照录像；
精密气浮式隔振底台，合资品牌低噪音抽真空机械泵。