| 项目名称 | 核心指标 |
衬底载物平台 | XY方向两轴手动平移，台面60mm x 60mm，行程25mm，调节精度优于2μm；绕Z轴旋转调节，台面φ85mm，360°粗调，±5°精调，可视分辨率优于0.8′；水平倾斜调节，台面60mm x 60mm，调节范围±2°，最小调整量5′；真空吸附加热样品台，高温~240℃,PID温控器，控温精度优于±0.1℃，高热导率加热台面，带散热冷却模块，升降温速度快。 |
载玻片位移平台 | XYZ方向三轴手动平移，台面80mm x 80mm，行程25mm，调节精度优于2μm；绕Z轴旋转调节，台面φ110mm，360°粗调，±5°精调，可视分辨率优于0.57′，定制高稳定载玻片夹具，装夹方便。 |
单筒金相显微镜 | 变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X，20倍复消色差超长工作距离物镜（29.56mm），综合放大倍数~900倍，高稳定显微调节支架，高倍下图像无明显抖动。 |
显微镜二维调节 | 显微镜整体XY二维调节，行程50mm，精度高达2μm，可在二维材料贴合之后，大范围调整显微镜观察视野。 |
成像相机
| 1200万像素高灵敏度彩色数字相机、高清成像、提供相机操作软件。 |
高清显示器 | 24英寸2K高清显示器，配置高稳定万向调节支架。 |
集成式电控机箱 | 系统电学控制集成，控制样品台加热、冷却模块、真空吸附、PID温控模块、显微照明及亮度调节。 |
| 真空泵 | 吐出空气量7L/min，达到真空度-33.3Kpa，耐用时间超10000小时。 |
| 选配功能 | 探针台模块、光学隔振平台、PDMS热释薄膜、二维材料（机械剥离、块材）、多物镜配置（五孔物镜转盘、5X、10X、50X、100X）、电动调节模块、手套箱环境使用等。 |