项目名称 | 核心指标 |
衬底载物平台 | XY方向两轴电动平移,台面60mm x 60mm,行程20mm,调节精度优于1μm;绕Z轴电动旋转调节,台面φ60mm,360°可调,重复定位精度0.01°;水平倾斜调节,台面60mm x 60mm,调节范围±2°,最小调整量5′;真空吸附加热样品台,高温~240℃,PID温控器,控温精度优于±0.1℃,高热导率加热台面,带散热冷却模块,升降温速度快。 |
载玻片位移平台 | XY方向两轴手动平移,台面80mm x 80mm,行程25mm,调节精度优于2μm;Z轴电动平移,台面80mm x 80mm,行程30mm,调节精度优于1μm;绕Z轴手动旋转调节,台面φ110mm,360°粗调,±5°精调,可视分辨率优于0.57′,定制高稳定载玻片夹具,装夹方便。 |
高分辨金相显微镜 | 双目镜SWH10X/25mm,0.65倍CTV,明场长轴照明器,五孔物镜转盘,标配5X、20X、50X复消色差长工作距离物镜,10X、100X可选,预留滤光及偏光插槽,带光阑调节通光量及视野大小,高稳定调焦机构,成像质量优异,适用μm级样品定点精确转移。 |
显微镜二维调节 | 显微镜整体XY二维调节,行程50mm,精度高达2μm,可在二维材料贴合之后,大范围调整显微镜观察视野。
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成像相机 | 1200万像素高灵敏度彩色数字相机,高清成像,提供相机操作软件。 |
高清显示器 | 24英寸2K高清显示器,配置高稳定万向调节支架。 |
集成式电控机箱 | 系统电学控制集成,控制样品台加热、冷却模块、温控模块、真空吸附。 |
真空泵 | 吐出空气量7L/min,达到真空度-33.3Kpa,耐用时间超10000小时。 |
选配功能 | 探针台模块、光学隔振平台、PDMS热释薄膜、二维材料(机械剥离、块材)、物镜(10X、100X)、电动调节模块、手套箱环境使用等。 |