（交付现场）

（控温模块设置）

（分模块专项培训）

南京理工大学高低温真空探针台安装交付

产品核心指标：

实测真空度：<1pa（达0.17pa@机械泵)；

控温范围：-140℃~600℃；

控温精度：±1℃；

温度均匀性：±3℃；

探针位移定位精度2um，分辨率3um，单轴直线度±2um；

漏电精度：100fA；

样品台：4英寸紫铜材质样品台，平面度5um；

真空腔体：直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室；

CCD采用USB连接电脑，分辨率2um，2000万像素，可拍照录像；

精密气浮式隔振底台，合资品牌低噪音抽真空机械泵。