南京大学 基础型组合式探针台 交付验收

核心指标：

底部蜂窝隔振面包板，有效隔绝Z轴向微振；

中间三维调节样品架，XY轴行程100mm，Z轴行程10mm，整体分辨率3um，360°旋转可锁紧；

探针座整体调节精度达10um，测量范围10pA-10A，XYZ行程13mm;

4英寸样品台，3个吸附孔，标配真空无油泵，可引出背电极；

标配进口钨钢探针，可测电流范围1fA-1A。