南京工业大学 TLRH系列精密型基础测试探针台 交付验收

核心指标：

真空卡盘直径：4英寸

样品台位移精度：<3μm

探针座位移精度：<3μm

漏电流精度：<100fA

兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试

是半导体材料或器件电学测试的理想选择。