预计展出产品

精密型基础测试探针台

TLRH系列精密型基础测试探针台具有较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，适用于半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试等。

3μm探针位移调节精度

满足1μm以上电极/PAD使用

漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）

模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试

精密型光电测试探针台

基于TLRH系列升级激光显微镜而来，实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路，实现光电流与IV的双功能检测。

3μm探针位移调节精度

激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试

漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）

模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试

高低温真空探针台

高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。

控温范围可达-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系统）

控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃

极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组

探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm

探针台相关附件

·多种夹具类型，多种精度探针座

·多种类型探针

·电磁屏蔽箱

·电学测试夹具

二维材料转移平台

LMT-B系列低维材料转移系统适用于石墨烯、硫化钼、黑磷等单层材料精确定点转移，以及多层范德华异质结的制备，实现了低维材料转移的可视化操作。

集成化设计，易操作

高位移精度，无回程差设计

精确控温模块，适用多种材料

高质量成像，实现微米级尺度转移

欢迎您5月中旬，莅临展位，指导交流，我们宁波见！