上海某前沿科创企业 TLRB系列标准型基础测试探针台 交付验收

核心指标：

真空吸附卡盘：6英寸

样品台位移精度：<10μm

探针座位移精度：<3μm

漏电流精度：<10pA

兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电mapping测试

是半导体材料或器件电学测试的理想选择。