浙江某研究所 直流探针台、射频恒温加热探针台、金相显微镜 验收交付

设备一：

TLRH-06型直流精密型基础测试探针台：

真空吸附卡盘：6英寸

样品台位移精度：<3μm

探针座位移精度：<3μm

漏电流精度：<100fA

探针座数量：5个

配置双目体式显微镜，电磁屏蔽箱。

设备二：

LVHT-06型恒温加热射频探针台：

真空吸附卡盘：6英寸

PID温控器，最高加热温度可达300℃，控温精度±0.1℃，有效区域均匀性±5℃

0.7μm高精度射频探针座*2

配置进口三丰高精度金相显微镜，4个长工作距离物镜（5X 10X 20X 50X）。

设备三：

正置透反射金相显微镜：

高眼点大视野平场目镜10X/22mm

金相物镜：

10X，N.A0.3，WD12.2mm

20X，N.A0.45，WD4mm

50X，N.A0.55，WD7.9mm

100X，N.A0.8，WD2.15mm

光学分辨率高达0.2μm@100X物镜

可拓展微分干涉模块，三维浮雕观测

630万像素高清彩色相机，图像采集分析软件。

是半导体材料或器件观察及电学测试的理想选择。