广西大学 TLRH系列8英寸精密型基础测试探针台及电磁屏蔽箱 验收交付

TLRH系列精密型基础测试探针台：

真空吸附卡盘：8英寸

样品台位移精度：<3μm

探针座位移精度：<3μm

漏电流精度：<100fA

探针座数量：3个3μm三同轴针座，2个3μm同轴针座

电磁屏蔽箱一套

配置三目体式显微镜，整体二维精密调节

钨钢镀金探针

半导体光电器件等高精度电学测试的理想之选。

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