（设备整体照片）

（腔体细节照片1）

（腔体细节照片2）

北京大学 真空加热探针台安装交付

产品核心指标：

实测真空度：极限真空度优于4*10（-1）Pa@机械泵，极限真空度优于3*10（-4）Pa@分子泵组；

控温范围：室温至300℃；

控温精度：±0.1℃；

温度均匀性：±3℃；

探针位移定位精度2um，分辨率3um，单轴直线度±2um，行程40mm；

漏电精度：100fA；

样品台：4英寸紫铜材质样品台，平面度5um；

真空腔体：直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室；

精密气浮式隔振底台，合资品牌低噪音抽真空机械泵。