探针台台体

MPTN-RH

套

1

. 底部蜂窝隔振面包板，带橡胶隔振地脚，有效隔绝Z轴微振；

. 三维调节样品架，XY轴行程110mm，Z轴行程10mm，整体分辨率3μm，360°粗调，±5°精调；

. 两边龙门架结构，尺寸：300mm*150mm*190mm。

探针座

TPLS-UP

套

选配

.三维调节，整体调节精度3μm（可选配0.5μm，1μm）;

.测量范围：10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A；

.行程：XYZ行程分别13mm；

.固定方式：可调磁吸吸附；

.探针夹持角度：偏摆60°；

.配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA）。

显微成像模块

.放大倍数：40.2-270倍；

.图像传感器：2000万像素，支持电脑控制，拍照录像，HDMI输出；

.中心距离：140mm，总高：350mm，升降范围270mm；

.目镜：采用高眼点超广角目镜，视场φ23mm；

.外置高亮无极调节亮度环形LED光源；

.配置显微镜万向支架；

.配置高清显示器及显示器万向支架；

.可选配XY二维调节装置，行程25*25mm，分辨率3μm；

.可据需求选配如电子显微镜、高分辨金相显微镜等。

真空吸附卡盘

PSL31

套

1

.台面尺寸：4/6/8/12英寸可选，有镀金、铝合金、紫铜材质；

.4英寸3个吸附孔，6/8英寸4个吸附孔，12英寸5个吸附孔；

.PID控温，可加热至300℃，控温精度±0.1℃；

.有效区域温度均匀性±5℃；

.标配进口无油真空泵，吐出空气量7L/min,长期稳定运行；

.搭配聚四氟材质旋转可锁紧装置，分离锁紧，360°旋转；

.背电极设计，可引出背电极；

.吸附孔独立圆槽设计，增强吸附能力，绝缘电学分离处理；

.单独吸附孔道，独立真空吸附开关；

.真空吸附套装附件。

探针

S001

盒

1

.钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

.钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

.镀金软针：长51mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（5/10/30/50/125μm)。

LVHT-04

4英寸

3μm

3μm

100fA

LVHT-06

6英寸

3μm

3μm

LVHT-08

8英寸

3μm

3μm

100fA

LVHT-12

12英寸

3μm

3μm