东南大学 3套TLRH系列精密型基础测试探针台及电磁屏蔽箱 验收交付
TLRH型精密型基础测试探针台：
真空吸附卡盘：4/6英寸
样品台位移精度：<3μm
探针座位移精度：<3μm
漏电流精度：<100fA
探针座数量：3/3/4个
电磁屏蔽箱一套
配置三目体式显微镜，整体二维精密调节
钨钢镀金探针
半导体光电器件等高精度电学测试的理想之选。
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