广东工业大学 LVHT系列恒温加热测试探针台及2套精密阻尼光学平台套件 验收交付
LVHT型恒温加热测试探针台：
恒温加热吸附卡盘：6英寸
样品台位移精度：<3μm
探针座位移精度：<3μm
漏电流精度：<100fA
探针座数量：3/个
配置三目体式显微镜，整体二维精密调节
钨钢镀金探针
半导体光电器件等高精度电学测试的理想之选。
1.2米精密型阻尼隔振光学平台套件安装交付
核心指标：
台面尺寸：1200mm*800mm*200mm；
精密阻尼隔振减振器，复合多频隔振；
高稳定光学仪器架；
高精密、高隔振性能实验需求的理想之选。
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