谱量光电研发生产的三线摆式高性能气浮隔振光学平台,是我司结合多年在隔振领域的研发及应用经验,为超高精密实验需求开发的一款高性能气浮隔振平台,对标业内一线品牌,支腿为独立式圆腿支撑,无整体共振,内部三线摆设计可将振动隔离到更低的水平,并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位,层流阻尼技术大大提高阻尼效率,混合腔设计极大增加给定尺寸下的柔性体积,同时有效降低了固有频率。 平台标配大功率优质超静音压缩机。上面板采用优质高导磁430不锈钢具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,经精密研磨处理平面度高,回旋打磨工艺清除毛边达到无反射、亚光效果,面板具有M6阵列螺孔,易于固定光学元件,是超高精密科研实验的理想之选。
技术优势:
● 微米级层流阻尼 ● SMC 纳米级高流量气动执行元件 ● 高性能气动减振器,共振频率最低 1Hz ● 支腿顶部配有安全连接件,大大提升安全性 | ● 混合腔设计最大程度的提高了工作稳定性与极低的固有频率
●三线摆设计最大程度的隔离振动并在受到干扰后实现高精度复位 ●顶部调节装置可轻松完成±10mm 调节 ●行业领先的蜂窝粘接焊接专利技术 |
产品展示:
技术参数:
平面度 | ≤0.05mm/㎡ | 表面粗糙度 | <0.8μm | 固有频率 |
垂直<1.0-1.5Hz;水平<1.0-1.5Hz(同实际负载相关)垂直共振低至 1Hz | 减振效率 |
垂直:5Hz 时:85-90%;10Hz 时:91-96% 水平:5Hz 时:87-92%;10Hz 时:92-97% | 振幅 | <2μm | 孔距公差 | ±0.05mm | 螺孔规格 | M6(公制) | 螺孔公差 | ±0.03mm | 载荷能力 | 300Kg/㎡ | 台面厚度 | 100mm/150mm/200mm/250mm/300mm | 台面重量 | 120Kg/㎡@100mm厚,140Kg/㎡@200mm厚,165Kg/㎡@300mm厚(≈) | 调节方式 | 自动定心 | 隔振方式 | 三线摆杆、混合腔结构 | 阻尼方式 | 微米级层流阻尼 |
测试数据:
减振效率:垂直:5Hz 时:91%;10Hz 时:94%,水平:5Hz 时:92%;10Hz 时:97% | |
静态振幅测试结果:0.00192 | |
固有频率测试结果:垂直固有频率 1.40625Hz | |
水平固有频率 1.25Hz | |
产品选型表: 产品型号 | 尺寸(mm) | 载荷(Kg) | 支腿外径(mm) | 支腿数量(mm) | PLGQS-1208 | 1200x800x800 | 800 | 300 | 4支撑 | PLGQS-1509 | 1500x900x800 | 1400 | 300 | 4支撑
| PLGQS-1510 | 1500x1000x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-1609 | 1600x900x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-1810 | 1800x1000x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-1812 | 1800x1200x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2010 | 2000x1000x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2012 | 2000x1200x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2015 | 2000x1500x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2412 | 2400x1200x800 | 1400 | 300 | 4支撑 | PLGQS-2415 | 2400x1500x800 | 2000 | 300 | 4支撑 | PLGQS-3010 | 3000x1000x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-3012 | 3000x1200x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-3015 | 3000x1500x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-3512 | 3500x1200x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-3515 | 3500x1500x800 | 2000 | 300 | 6支撑 | PLGQS-4015 | 4000x1500x800 | 2500 | 300 | 8支撑 | PLGQS-4215 | 4200x1500x800 | 2500 | 300 | 8支撑 | PLGQS-4815 | 4800x1500x800 | 2500 | 300 | 8支撑 | PLGQS-5415 | 5400x1500x800 | 2500 | 300 | 10支撑 | PLGQS-6015 | 6000x1500x800 | 2500 | 300 | 10支撑 |
*各种尺寸规格均可按客户需求定制。
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