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三线摆式高性能气浮隔振光学平台

谱量光电研发生产的三线摆式高性能气浮隔振光学平台,是我司结合多年在隔振领域的研发及应用经验,为超高精密实验需求开发的一款高性能气浮隔振平台,对标业内一线品牌,支腿为独立式圆腿支撑,无整体共振,内部三线摆设计可将振动隔离到更低的水平,并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位,层流阻尼技术大大提高阻尼效率,混合腔设计极大增加给定尺寸下的柔性体积,同时有效降低了固有频率。

平台标配大功率优质超静音压缩机。上面板采用优质高导磁430不锈钢具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,经精密研磨处理平面度高,回旋打磨工艺清除毛边达到无反射、亚光效果,面板具有M6阵列螺孔,易于固定光学元件,是超高精密科研实验的理想之选。


技术优势:

● 微米级层流阻尼

● SMC 纳米级高流量气动执行元件

● 高性能气动减振器,共振频率最低 1Hz

● 支腿顶部配有安全连接件,大大提升安全性

● 混合腔设计最大程度的提高了工作稳定性与极低的固有频率

●三线摆设计最大程度的隔离振动并在受到干扰后实现高精度复位

●顶部调节装置可轻松完成±10mm 调节

●行业领先的蜂窝粘接焊接专利技术


产品展示:


技术参数:

平面度

≤0.05mm/㎡

表面粗糙度

<0.8μm

固有频率

垂直<1.0-1.5Hz;水平<1.0-1.5Hz(同实际负载相关)垂直共振低至 1Hz

减振效率

垂直:5Hz 时:85-90%;10Hz 时:91-96%

水平:5Hz 时:87-92%;10Hz 时:92-97%

振幅

<2μm

孔距公差

±0.05mm

螺孔规格M6(公制)
螺孔公差±0.03mm
载荷能力300Kg/㎡
台面厚度100mm/150mm/200mm/250mm/300mm
台面重量

120Kg/㎡@100mm厚,140Kg/㎡@200mm厚,165Kg/㎡@300mm厚(≈)

调节方式自动定心
隔振方式

三线摆杆、混合腔结构

阻尼方式

微米级层流阻尼


测试数据:


减振效率:垂直:5Hz 时:91%;10Hz 时:94%,水平:5Hz 时:92%;10Hz 时:97%


静态振幅测试结果:0.00192


固有频率测试结果:垂直固有频率 1.40625Hz


水平固有频率 1.25Hz


产品选型表:

产品型号

尺寸(mm)

载荷(Kg)

支腿外径(mm)

支腿数量(mm)

PLGQS-1208

1200x800x800

800

300

4支撑

PLGQS-1509

1500x900x800

1400

300

4支撑

PLGQS-1510

1500x1000x800

1400

300

4支撑

PLGQS-1609

1600x900x800

1400

300

4支撑

PLGQS-1810

1800x1000x800

1400

300

4支撑

PLGQS-1812

1800x1200x800

1400

300

4支撑

PLGQS-2010

2000x1000x800

1400

300

4支撑

PLGQS-2012

2000x1200x800

1400

300

4支撑

PLGQS-2015

2000x1500x800

1400

300

4支撑

PLGQS-2412

2400x1200x800

1400

300

4支撑

PLGQS-2415

2400x1500x800

2000

300

4支撑

PLGQS-3010

3000x1000x800

2000

300

6支撑

PLGQS-3012

3000x1200x800

2000

300

6支撑

PLGQS-3015

3000x1500x800

2000

300

6支撑

PLGQS-3512

3500x1200x800

2000

300

6支撑

PLGQS-3515

3500x1500x800

2000

300

6支撑

PLGQS-4015

4000x1500x800

2500

300

8支撑

PLGQS-4215

4200x1500x800

2500

300

8支撑

PLGQS-4815

4800x1500x800

2500

300

8支撑

PLGQS-5415

5400x1500x800

2500

300

10支撑

PLGQS-6015

6000x1500x800

2500

300

10支撑

*各种尺寸规格均可按客户需求定制。