探针台又称探针测试台,主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析,抽查测试等用途。 TLRB系列标准型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要,而开发设计的一款高性价比探针台系统,其功能齐全,满足常规IV电学测试需要,广泛应用于芯片、半导体材料/器件等光电相关领域。 |

| 技术优势: . 结构紧凑,功能实用,高性价比; . 最大可用于12英寸以内样品测试; . 满足1μm以上电极/PAD使用; . 兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜,可360°旋转及微调升降; . 漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内); . 精密丝杆/燕尾传动机构,线性移动,无回程差设计; . 模块化设计,可据应用需要增减相应模块,性价比高。 |
细节展示: 
详细模块配置及参数说明:
名称 | 型号 | 单位 | 数量 | 参数 | 探针台台体 | MPT-B | 套 | 1 | . 底部蜂窝隔振面包板,台面尺寸450mm*600mm*50mm,带橡胶隔振地脚,有效隔绝Z轴微振;
. 三维调节样品架,XY轴行程50mm,Z轴行程60mm,整体分辨率10μm,360°旋转可锁紧;
. 两边龙门架结构,尺寸:300mm*150mm*190mm。 | 探针座 | TPLS-UP | 套 | 2 | .三维调节,整体调节精度10μm(可选配0.5μm,1μm,3μm); .测量范围:10pA-100fA(屏蔽箱环境)-10A; .行程:XYZ行程分别13mm; .固定方式:可调磁吸吸附; .探针夹持角度:偏摆60°; .配置线缆:同轴线缆(漏电精度10pA)/三同轴线缆(漏电精度100fA)。 | 显微成像模块 | ST61 | 套 | 1 | .三目体式显微镜; .放大倍数:40.2~270倍; .图像传感器:2000万像素,支持电脑控制,拍照录像,HDMI输出; .中心距离:140mm,总高:350mm,升降范围270mm; .目镜:采用高眼点超广角目镜,视场φ23mm; .外置高亮无极调节亮度环形LED光源; .配置显微镜万向支架; .配置高清显示器及显示器万向支架; .可选配XY二维调节装置,行程25*25mm,分辨率3um; .可据需求选配如电子显微镜、高分辨金相显微镜等。 | 真空吸附卡盘 | PVS-04 | 套 | 1 | .台面尺寸:4/6/8/12英寸可选,不锈钢材质; .4英寸3个吸附孔,6/8英寸4个吸附孔,12英寸5个吸附孔; .标配进口无油真空泵,吐出空气量7L/min,长期稳定运行; .搭配聚四氟材质旋转可锁紧装置,分离锁紧,360°旋转; .背电极设计,可引出背电极; .吸附孔圆槽设计,增强吸附能力; .单独吸附孔道,独立真空吸附开关; .真空吸附套装附件。 | 探针 | PTR-03 | 盒 | 1 | .钨钢探针:长38mm,直径0.5mm,可测电流范围,1fA-1A,针尖直径可选(1/3/5/10/30/50/150/300/500μm); .钨钢镀金探针:长38mm,直径0.5mm,可测电流范围,1fA-1A,针尖直径可选(1/3/5/10/30/50/150/300/500μm);
.镀金软针:长51mm,可测电流范围,1fA-1A,针尖直径可选(5/10/30/50/125μm)。 |
常规选型:
产品型号 | 样品台尺寸 | 样品台位移精度 | 探针座位移精度 | 漏电流精度 | 探针座数量
| TLRB-04 | 4英寸 | 10μm
| 10μm | 10pA | 2个 | TLRB-06 | 6英寸 | 10μm | 10μm | 10pA | 2个 | TLRB-08 | 8英寸 | 10μm | 10μm | 10pA | 2个 | TLRB-12 | 12英寸 | 10μm | 10μm | 10pA | 2个 |
实验附件及常规测试步骤: 光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表(含软件)等。 测试时连接探针台和数字源表,探针接被测物体,通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面,待连接导通后打开源表软件,选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域: 半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。 谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。
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