探针座作为探针台的核心部件，主要用途是连接探针和线缆，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从调节精度上来区分可分为10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等，从操作方式来区分可分为手动和电动，此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等，广泛应用于半导体及光电行业的电学参数测试。 |
| 技术优势：
.主体采用进口航空铝，保证高稳定性的同时，保证线性位移精度； . 位移部分采用精密加工燕尾槽，保证位移精度; .采用手轮驱动，双顶丝设计，保证稳定性； . 多功能调节夹具，可以实现180°旋转及60°定向倾斜，适用于在显微镜下定向调节探针，不阻挡视野； .底部配超强可控磁性底座，磁性吸附能力5Kg，保证扎针稳定性。 |
细节展示： 
技术参数：
探针位移行程 | XYZ三轴分别13mm，180°旋转，精密60°角度倾斜
| 整体结构外形尺寸 | 220mm*45mm*84mm（LWH） | | 探针整体位移精度 | 10μm | | 漏电精度 | 10pA@同轴线缆，100fA@进口三同轴线缆 | | 可选接头 | 同轴线缆（BNC、鳄鱼夹、香蕉插头）/进口三同轴线缆（三同轴接口） | | 测量范围 | 电流：10pA/100fA~10A , 电压：最大1000V |
常规选型： 产品型号 | 调节精度 | 配套线缆 | 漏电流精度 | TPLS10-UP | 10μm | 同轴线缆 （可选BNC/鳄鱼夹/香蕉插头） | 10pA | TPLS10H-UP | 10μm | 三同轴线缆 | 100fA |
应用领域：
适用于R/F测量，I/O点测量，直流DC测试，晶圆测试，电阻电压测试，太阳能电池测试，光电流测试，半导体器件分析测试等。
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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