探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。 TLRS系列简易型基础测试探针台是我司根据产业用户生产检测需要，而特定设计的一款简易便携高性价比探针台，满足产线基本电学参数测试同时兼顾低成本优势，已成为工业生产领域批量检测的理想之选。 |
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技术优势： . 结构紧凑，功能实用，高性价比; . 样品台XYZR四维调节，整体分辨率10μm，360°旋转可锁紧; . 满足1μm以上电极/PAD使用; . 兼容多种显微镜，可引入光路，完成光电mapping测试; . 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）; . 精密传动机构，线性移动，无回程差设计; . U型探针架，可以放置多个探针座； . 整体尺寸小，方便携带，底部蜂窝隔振板，提高测试稳定性。 |
细节展示： 
详细模块配置及参数说明：
名称 | 型号 | 单位 | 数量 | 参数 | 探针台台体 | PBL | 套 | 1 | . 底部隔振面包板，带橡胶隔振地脚，有效隔绝Z轴微振；
. 四维调节样品架，XY轴行程110/150mm，Z轴行程10mm，整体分辨率10μm，360°旋转可锁紧；
. U型探针架，可放置多个探针座。 | 探针座 | TPLS-UP | 套 | 2 | .三维调节，整体调节精度10μm（可选配0.5μm，1μm，3μm）; .测量范围：10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A； .行程：XYZ行程分别13mm； .固定方式：可调磁吸吸附，真空吸附，螺丝固定； .配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA）。 | 显微成像模块 | ST51 | 套 | 1 | .体式显微镜； .放大倍数：40.2~270倍； .图像传感器：2000万像素，支持电脑控制，拍照录像，HDMI输出； .目镜：采用高眼点超广角目镜，视场φ23mm； .外置高亮无极调节亮度环形LED光源； .配置显微镜万向支架； .配置高清显示器及显示器万向支架； .可选配XY二维调节装置，行程25*25mm，分辨率3μm； .可据需求选配如电子显微镜、高分辨金相显微镜等。 | 真空吸附卡盘 | PVS-04 | 套 | 1 | .台面尺寸：4/6英寸可选，不锈钢材质； .标配进口无油真空泵，吐出空气量7L/min,长期稳定运行； .环形吸附模式，增强吸附力； .背电极设计，可引出背电极； .真空吸附套装附件。 | 探针 | PTR-03
| 盒 | 1 | .钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； .钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.镀金软针：长51mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（5/10/30/50/125μm)。 |
常规选型： 产品型号 | 样品台尺寸 | 样品台位移精度 | 样品台位移精度 | 漏电流精度 | 探针座数量
| TLRS-04 | 4英寸 | 10μm
| 10μm
| 10pA | 2个 | TLRS-06 | 6英寸 | 10μm | 10μm | 10pA | 2个 |
实验附件及常规测试步骤： 光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。 测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域： 半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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