探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。
TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激光显微镜而来，实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路，实现光电流与IV的双功能检测，是光电芯片/器件测试的理想之选。
技术优势：
.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；
. 最大可用于12英寸以内样品测试;
.探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节；
. 激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；
. 满足1μm以上电极/PAD使用;
. 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;
. 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计;
. 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；
. 配显微镜三维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。
细节展示：
详细模块配置及参数说明：
名称
型号
单位
数量
参数
探针台台体
MPT-H
套
1
. 底部蜂窝隔振面包板，带橡胶隔振地脚，有效隔绝Z轴微振；
. 三维调节样品架，XY轴行程110mm，Z轴行程10mm，整体分辨率3μm，360°粗调，±5°精调；
. 两边龙门架结构，尺寸：300mm*150mm*190mm。
探针座
TPLS-UP
3
.三维调节，整体调节精度3μm（可选配0.5μm，1μm）;
.测量范围：10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A；
.行程：XYZ行程分别13mm；
.固定方式：可调磁吸吸附；
.探针夹持角度：偏摆60°；
.配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA）。
显微成像模块
.高分辨激光成像显微镜，可外引激光，配置5X、10X、20X、50X物镜（可选），五档位物镜转盘；
.图像传感器：2000万像素，支持电脑控制，拍照录像，HDMI输出；
.照明光源：白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗3W LED，色温5500K，照明均匀；LED照明控制器90V-250V宽电压3W LED控制器，可调光；
.集成 XY 位移台以及精密升降台，行程 25mmx25mmx50.8mm 升降，精度 3μm；
真空吸附卡盘
PVS-04
.台面尺寸：4/6/8/12寸可选，不锈钢材质；
.4英寸3个吸附孔，6/8英寸4个吸附孔，12英寸5个吸附孔；
.标配进口无油真空泵，吐出空气量7L/min,长期稳定运行；
.搭配聚四氟材质旋转可锁紧装置，分离锁紧，360°旋转；
.背电极设计，可引出背电极；
.吸附孔圆槽设计，增强吸附能力；
.单独吸附孔道，独立真空吸附开关；
.真空吸附套装附件。
探针
PTR-03
盒
.钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.镀金软针：长51mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（5/10/30/50/125μm)。
常规选型：
产品型号
样品台尺寸
样品台位移精度
探针座位移精度
漏电流精度
TLPH-04
4英寸
3μm
100fA
TLPH-06
6英寸
TLPH-08
8英寸
TLPH-12
12英寸
实验附件及常规测试步骤：
光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。
测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域：
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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