高低温真空探针台-谱量光电（PLCTS）-主营探针台-光学平台-二维材料转移平台-OCT系统-光波导耦合系统-激光器-CMOS相机

探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。

高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。

技术优势：

.控温范围可达-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系统）；

. 控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃;

.极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；

.探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；

.三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构;

. 样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。

详细模块配置及参数说明：

名称	型号	单位	数量	参数
真空腔体	LVTS-401	套	1	.直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室 .上盖带4英寸石英观察窗 .下法兰带固定端，与光学平台连接 .直径为4英寸的紫铜材质样品台，平整度5μm .1个KF40抽真空排气口，3个CF16充气口，1个KF16电阻规接口，1个KF16放气口，1个KF40预留接口，1个DN63 BNC真空贯穿接口，2个冷却液接口，4个探针座接口,2个电源接口
探针座	TPRS-UP	套	选配	.位移方向XYZ三轴,采用交叉滚柱导轨,产品定向性能稳定 .采用精密研磨丝杆M3*0.5分辨率高，配合做大手轮 .行程：X轴40mm，Y轴40mm，Z轴40mm .分辨率3μm，重复定位精度±2μm，单轴直线度±2μm，自重1.5Kg，负载5.5Kg .三同轴探针夹具漏电精度100fA，接三同轴公接口，陶瓷结构 .探针臂，采用304不锈钢光轴，保证水平的准直度和刚性 .探针臂移动真空密封装置，配置可压缩50mm的焊接波纹管，保证寿命可靠运行100万次 .配备美国进口三轴线缆，低漏流，高精度，满足大部分器件测试分析。
气浮隔振平台	PLGZQ-60	套	1	.光学隔振平台专门设计的水平减震机构，隔振基础采用二层气囊隔离，空气隔离器利用空气阻尼技术在各个方向上都提供了优异的减振性能，减振器自身的自然振动频率非常低，防止由瞬变干扰产生的摇摆 .稳定轻松调节，稳定可靠结构十分紧凑 .平面度＜0.10mm/m 2 .固有频率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz .振幅＜1.2μm .重复定位精度±0.05mm
显微控制系统	LVTS-402	套	1	.配高清成像CCD，采用USB连接电脑，2000万像素，可以拍照录像 .控温系统采用日本岛电温控仪表配置固态继电器、热电偶形成闭环PID控温和自整定调节，智能化30段可编程控制，控温精准可达到±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃ .最高温度600℃，最低温度-142℃ .高温部件构成及低温部件构成
真空发生系统	LVTS-403	盒	1	1、真空机械泵采用中韩合资型号TRP-36，9L/s抽速，自带防返油阀门，KF25接口，KF25排气口，配有油雾过滤器。极限真空度优于5Pa .配置KF40手动真空挡板阀，波纹管密封，性能可靠，外观大气，手感好；放气阀配置KF16手动放气阀，体积小巧，性能可靠；所有真空管道采用不锈钢液压波纹管，具备很好的柔韧度，消除机械泵震动所带给探针台的影响。 .真空测量配置国产成都睿宝电阻真空计，安装1个全金属KF16电阻规 2、配风冷复合分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵启动到400Hz后优于310-3Pa，30分钟以内优于510-4Pa，极限真空度3*10-5Pa。机组为可移动台式小车结构，能够满足不同位置排气需要。 .分子泵：JTFB-600，抽速600L/s的国产风冷复合分子泵； .机械泵：TRP-3，抽速3L/s的合资机械泵； .复合真空计：PDF-5227，CF35电离规和KF16电阻规； .转接真空室：CF100—KF40，高度200mm；
配件	密封件1套，3微米针尖钨钢探针20支，探针臂陶瓷件2个等

常规选型：

产品型号	样品台尺寸	控温范围	探针座位移精度	漏电流精度
LVTS-04	4英寸	-142-600℃	3μm	100fA
LVTS-06	6英寸	-142-600℃	3μm	100fA
LVTS-08	8英寸	-142-600℃	3μm	100fA
LVTS-12	12英寸	-142-600℃	3μm	100fA

测试环境：

极低温测试、高温无氧化测试。

测试环节：

晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

了解产品详细信息，请登录查阅我司官方商城（ www.plctss.com ） 探针台版块。

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