探针座作为探针台的核心部件，主要用途是连接探针和线缆，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从调节精度上来区分可分为10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等，从操作方式来区分可分为手动和电动，此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等，广泛应用于半导体及光电行业的电学参数测试。
谱量光电针对行业高精度应用场景需求，新推出电动款五相高精度探针座，低速无抖动，实现亚微米级定位，搭配我司多轴运动控制系统以及运动手轮组合，轻松实现单轴运动或多轴联动，单个控制器最多可连接三个电动探针座，实现九个维度的精确控制。
技术优势：
.主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，优质的机械性能；
.五相步进电机驱动，精度高达亚微米级;
.上位机软件及手柄双模式控制，自动化扎针，适应不同应用场景；
. 多功能调节夹具，可以实现180°旋转及60°定向倾斜调节；
.集成式控制器，可单轴或多轴联动控制;
.底部超强可调磁性底座，磁性吸附可达10Kg，保证扎针的稳定性；
.可选配升级真空吸附，搭配7L/min真空泵。
操作方式：
技术参数：
常规选型：
产品型号
调节精度
配套线缆
漏电流精度
TPES-UP
~1μm
三同轴线缆/同轴线缆
100fA/10pA
应用领域：
适用于R/F测量，I/O点测量，直流DC测试，晶圆测试，电阻电压测试，太阳能电池测试，光电流测试，半导体器件分析测试等。
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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